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什么是退火爐

作者:時(shí)間:2018-06-25 16:08:30273 次瀏覽

信息摘要:

退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的??梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐,超節(jié)能結(jié)構(gòu),采用纖維結(jié)構(gòu),節(jié)電60%。

常見的退火爐型號(hào)

  1.臺(tái)車式退火爐

  臺(tái)車式退火爐的特點(diǎn)是節(jié)能省電,幅度可以達(dá)到30%左右,產(chǎn)品整體由爐體、爐襯、爐門、爐臺(tái)、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、電加熱裝置、溫度控制系統(tǒng)組成,它與其它產(chǎn)品的區(qū)別在于它的爐體可以前后移動(dòng),裝料的臺(tái)車和爐門是固定的,這就解決了臺(tái)車的重量問題,還可以提高設(shè)備的使用年限。

  2.井式退火爐

  井式退火爐主要用來加工盤圓線材、銅件、不銹鋼等機(jī)件的退火處理,處理后的機(jī)件能夠減少氧化保持清潔,設(shè)備結(jié)構(gòu)由電爐爐體、爐襯、爐蓋、加熱元件、控溫立柜等部件組成。

  3.天然氣退火爐

  天然氣退火爐的型號(hào)的節(jié)能效果能夠達(dá)到60左右的幅度,用來處理不銹鋼、高鉻鑄件、碳鋼、球墨鑄鐵、軋輥、鋼球等金屬機(jī)件的退火使用。

  4.真空光亮退火爐

  真空光亮退火爐主要處理各種金屬機(jī)件的真空退火工作,適用于各種金屬、合金材質(zhì),可以實(shí)現(xiàn)光亮退火以及真空脫氣。

  5.網(wǎng)帶式退火爐

  網(wǎng)帶式退火爐既能夠處理各種金屬的真空光亮退火,也能夠進(jìn)行熱處理,產(chǎn)品功能性強(qiáng)。


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